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产品名称： 热场式场发射扫描电镜 SU5000产品型号：产品时间： 2023-11-21热场式场发射扫描电镜 SU5000
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产品介绍
热场式场发射扫描电镜 SU5000
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: 高效PD-BSD, 低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
热场式场发射扫描电镜 SU5000
| 项目 | 内容 | |
| 分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV | |
| 放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | ZrO /W 肖特基式电子枪 |
| 加速电压 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进) | |
| 着陆电压 | 减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1 | |
| 最大束流 | > 200 nA | |
| 探测器 | 低位二次电子探测器 | |
| 低真空模式*2 | 真空范围: 10 - 300 Pa | |
| 马达台 | 马达台控制 | 5 - 轴自动 (优中心) |
| 可动范围 | X：0～100mm | |
| 最大样品尺寸 | 最大直径: 200 mm | |
| 选配探测器 | · 高分辨率顶位二次电子探测器＊1 · 高灵敏度低真空探测器 (UVD) · 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 · 能谱仪 (EDS) · 波谱仪 (WDS) · 背散射电子衍射探测器 (EBSD) | |
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